Plaque de polissage de plaquette d'alumine à 99,7%

Brève description:

Substrat d'alumine Chemshun 99,7% Al2O3 en tant que matériau de haute pureté et nouveau matériau de grande taille, il possède d'excellentes propriétés physiques et des caractères chimiques stables, le bon prix se compare à d'autres matériaux.L'alumine de haute pureté est toujours développée par la recherche mondiale de pointe et les usines de céramique de pointe et de céramique fine.

Plaque de polissage de plaquettes d'alumine à 99,7 % pour le polissage mécanique chimique.En tant que composant important du processus de polissage mécano-chimique CMP.CMP est le nécessaire pour produire le processus du saphir et de la plaquette des semi-conducteurs.

Les plaques de polissage et de rodage en céramique d'alumine de haute pureté de Chemshun Ceramics à 99,7%, le disque sont façonnés selon le processus de production de PIBM.C'est une technologie de pointe internationale.PIBM a réussi à résoudre le problème clé de la fissure et de la déformation des céramiques d'alumine de grande taille. La technologie PIBM ouvrira une autre fenêtre de la céramique fine.

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Détail du produit

Application

Comme les disques de polissage de plaquettes en céramique d'alumine et de rodage en saphir utilisés dans les semi-conducteurs, le polissage au diamant, etc.

Processus : tous les types de processus de polissage et de rodage, tels que le polissage mécanique chimique CMP, le polissage mécanique, le polissage de précision.

Fonctionnalité

Haute pureté et durabilité chimique
Haute résistance mécanique et dureté
Haute résistance à la corrosion
Résistance haute tension
Résistant aux hautes températures jusqu'à 1700ºC
Performances extrêmement résistantes à l'abrasion
Excellentes performances d'isolation
Tous les types de taille 180, 360, 450, 600 mm, etc.

Nom du produit	Disques de rodage de polissage en céramique d'alumine de haute pureté 99,7
Matériel	99,7% alumine
Taille normale	D180, 360, 450, 600mm, taille personnalisée acceptée.
Couleur	Ivoire
Application	Processus CMP Wafer et Sapphire dans l'industrie des semi-conducteurs
Commande Min.	1Photo

Informations chimiques/physiques

		Unité	Céramique d'alumine 99,7
Les propriétés générales	Teneur en Al2O3	% en poids	99.7-99.9
	Densité	g/cc	3.94-3.97
	Couleur	-	Ivoire
	Absorption de l'eau	%	0
Propriétés mécaniques	Résistance à la flexion (MOR) 20 ºC	MPa(psix10^3)	440-550
	Module élastique 20ºC	GPa (psix10^6)	375
	Dureté Vickers	Gpa(kg/mm2) R45N	>=17
	Résistance à la flexion	Gpa	390
	Résistance à la traction 25ºC	MPa(psix10^3)	248
	Résistance à la rupture (KI c)	MPa* m^1/2	4-5
Propriétés thermiques	Conductivité thermique(20ºC)	W/mk	30
	Coefficient de dilatation thermique(25-1000ºC)	1x 10^-6/ºC	7.6
	Résistance aux chocs thermiques	°C	200
	Température d'utilisation maximale	°C	1700
Propriétés électriques	Rigidité diélectrique (1MHz)	ca-kv/mm(ca v/mil)	8.7
	Constante diélectrique (1 MHz)	25ºC	9.7
	Résistivité volumique	ohm-cm (25ºC)	>10^14
		ohm-cm (500ºC)	2 × 10 ^ 12
		ohm-cm (1000ºC)	2 × 10 ^ 7

Service

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