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Plaque de polissage de plaquette d'alumine à 99,7%

Brève description:

Substrat d'alumine Chemshun 99,7% Al2O3 en tant que matériau de haute pureté et nouveau matériau de grande taille, il possède d'excellentes propriétés physiques et des caractères chimiques stables, le bon prix se compare à d'autres matériaux.L'alumine de haute pureté est toujours développée par la recherche mondiale de pointe et les usines de céramique de pointe et de céramique fine.

Plaque de polissage de plaquettes d'alumine à 99,7 % pour le polissage mécanique chimique.En tant que composant important du processus de polissage mécano-chimique CMP.CMP est le nécessaire pour produire le processus du saphir et de la plaquette des semi-conducteurs.

Les plaques de polissage et de rodage en céramique d'alumine de haute pureté de Chemshun Ceramics à 99,7%, le disque sont façonnés selon le processus de production de PIBM.C'est une technologie de pointe internationale.PIBM a réussi à résoudre le problème clé de la fissure et de la déformation des céramiques d'alumine de grande taille. La technologie PIBM ouvrira une autre fenêtre de la céramique fine.


Détail du produit

Application

Comme les disques de polissage de plaquettes en céramique d'alumine et de rodage en saphir utilisés dans les semi-conducteurs, le polissage au diamant, etc.

Processus : tous les types de processus de polissage et de rodage, tels que le polissage mécanique chimique CMP, le polissage mécanique, le polissage de précision.

Fonctionnalité

Haute pureté et durabilité chimique
Haute résistance mécanique et dureté
Haute résistance à la corrosion
Résistance haute tension
Résistant aux hautes températures jusqu'à 1700ºC
Performances extrêmement résistantes à l'abrasion
Excellentes performances d'isolation
Tous les types de taille 180, 360, 450, 600 mm, etc.

Nom du produit Disques de rodage de polissage en céramique d'alumine de haute pureté 99,7
Matériel 99,7% alumine
Taille normale D180, 360, 450, 600mm, taille personnalisée acceptée.
Couleur Ivoire
Application Processus CMP Wafer et Sapphire dans l'industrie des semi-conducteurs
Commande Min. 1Photo

Informations chimiques/physiques

Unité Céramique d'alumine 99,7
Les propriétés générales Teneur en Al2O3 % en poids 99.7-99.9
Densité g/cc 3.94-3.97
Couleur - Ivoire
Absorption de l'eau % 0
Propriétés mécaniques Résistance à la flexion (MOR) 20 ºC MPa(psix10^3) 440-550
Module élastique 20ºC GPa (psix10^6) 375
Dureté Vickers Gpa(kg/mm2) R45N >=17
Résistance à la flexion Gpa 390
Résistance à la traction 25ºC MPa(psix10^3) 248
Résistance à la rupture (KI c) MPa* m^1/2 4-5
Propriétés thermiques Conductivité thermique(20ºC) W/mk 30
Coefficient de dilatation thermique(25-1000ºC) 1x 10^-6/ºC 7.6
Résistance aux chocs thermiques °C 200
Température d'utilisation maximale °C 1700
Propriétés électriques Rigidité diélectrique (1MHz) ca-kv/mm(ca v/mil) 8.7
Constante diélectrique (1 MHz) 25ºC 9.7
Résistivité volumique ohm-cm (25ºC) >10^14
ohm-cm (500ºC) 2 × 10 ^ 12
ohm-cm (1000ºC) 2 × 10 ^ 7

Service

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