Plaque de polissage pour plaquettes d'alumine à 99,7 % avec trou
Caractéristiques du produit
Alumine de haute pureté, 99,7 % à 99,9 % d'alumine.
Haute résistance mécanique, résistance à l'usure élevée, isolation électrique élevée, stabilité chimique élevée, bonne résistance à la chaleur et à la corrosion : le meulage de plaquettes de silicium semi-conductrices à l'aide de disques de meulage en céramique représente actuellement la méthode de meulage la plus performante et la plus avancée. Le procédé de meulage double face est utilisé pour le meulage des plaquettes de silicium découpées, et la qualité des plaquettes mesurables est améliorée par l'optimisation du processus (matériau du disque, fluide de meulage, pression et vitesse de meulage, etc.). En particulier, l'utilisation de disques en céramique au lieu de disques en fonte permet d'éviter les rayures ou la contamination de la surface principale de la plaquette, de réduire l'introduction d'ions métalliques, de diminuer les étapes de traitement ultérieures du silicium, de raccourcir la durée des traitements ultérieurs (corrosion), d'améliorer la productivité et de réduire les pertes de silicium lors du traitement, optimisant ainsi son utilisation.
Paramètres chimiques/physiques
| propriété | |
| Densité (g/cm3) | 3,94-3,97 |
| Pureté (%) | 99,7-99,9 |
| Dureté Vickers (GPa) | ≥17 |
| Résistance à la flexion en trois points (MPa) | 440-550 |
| Coefficient de diffusion thermique (Cm2/s) | 0,0968 |
| Module d'élasticité (GPa) | 356 |
Spécifications du produit
Disque ou anneau en alumine de haute pureté de Φ850 mm et d'une épaisseur de 45 mm ou moins (taille personnalisable).
Nous pouvons également produire des céramiques haut de gamme répondant aux spécifications suivantes :
1, 1500x600x25mm sous la planche longue, bande, planche carrée, feuille ;
2. Rails de guidage inférieurs à 1000x45x45mm ;
3, φ300~600x longueur de 500 mm ou moins de tuyau vide, cylindre, tube à vide électrique, etc.
4. Nous pouvons personnaliser une variété de formes et de spécifications de produits en céramique d'alumine de haute pureté.
Avantages des céramiques Chemshun
Nous détenons les droits de propriété intellectuelle exclusifs sur le procédé de moulage auto-durcissant PIBM, et nous sommes spécialisés dans la production de composants céramiques de haute qualité. Ce nouveau procédé élimine la déformation et la fissuration des lingots céramiques humides de grande taille lors de leur préparation, et les performances du produit sont nettement supérieures à celles des pièces céramiques de grande taille fabriquées par les méthodes traditionnelles.
Le disque de polissage en céramique d'alumine produit par Pingxiang Chemshun Ceramics Co., Ltd. est fabriqué selon le procédé de moulage auto-durcissant PIBM. Cette technologie PIBM de pointe a permis de résoudre le problème majeur de la fissuration et de la déformation des pièces en alumine de grand diamètre. La technologie céramique PIBM ouvre de nouvelles perspectives prometteuses pour l'industrie céramique. Outre la production de disques de polissage en céramique d'alumine de haute qualité, nous proposons également d'autres gammes de céramiques d'alumine de grande taille et de haute pureté, telles que des substrats céramiques de 1200 x 500 x 20 mm destinés aux équipements de fabrication d'écrans LCD, aux rails de transmission pour semi-conducteurs, aux composants sous vide, aux pièces mécaniques générales et aux céramiques pare-balles.
