Chemshunplaque de polissage de plaquettes d'alumineLe plateau tournant est fabriqué en alumine de haute pureté (99,7-99,9 %). Cette céramique d'alumine de haute pureté offre une rigidité exceptionnelle et une excellente résistance à l'usure pour le polissage des plaquettes, tout en conservant une surface impeccable sur le long terme. Fabriquée par PIBM, elle est utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs pour sa stabilité thermique et dimensionnelle inégalée et sa résistance aux environnements extrêmes des équipements de traitement des microprocesseurs.
Le polissage chimico-mécanique (CMP), également appelé planarisation chimico-mécanique, est une technique utilisée dans la fabrication des semi-conducteurs. Elle combine corrosion chimique et forces mécaniques pour aplanir les plaquettes de silicium ou autres substrats lors de leur traitement.
L'équipement CMP se divise principalement en deux parties : le polissage et le nettoyage. La partie polissage comprend quatre éléments : trois plateaux tournants de polissage et un module de chargement/déchargement des plaquettes. La partie nettoyage assure le nettoyage et le séchage des plaquettes, garantissant ainsi un séchage complet à l'entrée et à la sortie. Dans l'ensemble de l'équipement de polissage, les céramiques d'alumine jouent un rôle essentiel.
Les céramiques d'alumine sont généralement utilisées pour préparer des disques de polissage de plaquettes, qui nécessitent une pureté élevée, une grande durabilité chimique et un bon contrôle de la forme et de la rugosité de la surface.
Le disque de meulage en céramique Chemshun à 99,7 % d'Al₂O₃ est fabriqué à partir de matériaux céramiques de pointe, ce qui le rend idéal pour le meulage fin de divers matériaux, notamment les matériaux fragiles tels que les plaquettes, la céramique et le verre. Nos disques de meulage en céramique sont disponibles en différentes tailles pour s'adapter aux différents modèles de meulage et de polissage.
Date de publication : 30 mai 2025