Qu'est-ce qu'une plaque de polissage de plaquettes en céramique d'alumine de haute pureté ?

Avec le développement rapide de l'industrie des semi-conducteurs, son échelle a considérablement augmenté et les équipements de fabrication ont évolué vers une précision et une complexité toujours plus grandes. Grâce à ses propriétés exceptionnelles (dureté élevée, module d'élasticité élevé, résistance à l'usure et à la corrosion, isolation thermique et faible dilatation), la céramique trouve des applications dans les machines de polissage du silicium, les équipements de traitement thermique (épitaxie, oxydation, diffusion), les systèmes de lithographie, de dépôt, de gravure, d'implantation ionique, etc. La recherche, le développement et la production de pièces céramiques de précision ont donc un impact direct sur l'évolution de l'industrie des semi-conducteurs, et les exigences techniques liées à leur fabrication sont de plus en plus élevées.

Alumine de haute pureté, 99,7 % à 99,9 % d'alumine.
Haute résistance mécanique, résistance à l'usure élevée, isolation électrique élevée, stabilité chimique élevée, bonne résistance à la chaleur et à la corrosion : le meulage de plaquettes de silicium semi-conductrices à l'aide de disques de meulage en céramique représente actuellement la méthode de meulage la plus performante et la plus avancée. Le procédé de meulage double face est utilisé pour le meulage des plaquettes de silicium découpées, et la qualité des plaquettes mesurables est améliorée par l'optimisation du processus (matériau du disque, fluide de meulage, pression et vitesse de meulage, etc.). En particulier, l'utilisation de disques en céramique au lieu de disques en fonte permet d'éviter les rayures ou la contamination de la surface principale de la plaquette, de réduire l'introduction d'ions métalliques, de diminuer les étapes de traitement ultérieures du silicium, de raccourcir la durée des traitements ultérieurs (corrosion), d'améliorer la productivité et de réduire les pertes de silicium lors du traitement, optimisant ainsi son utilisation.

Plaque de polissage de plaquettes à haute teneur en alumineL'alumine est utilisée dans les industries des semi-conducteurs, du pétrole, de la chimie, du photovoltaïque, des cristaux liquides et autres, notamment pour la fabrication de pièces mécaniques et électroniques, de disques à induction micro-ondes, de matériaux isolants, de dispositifs semi-conducteurs, d'équipements sous vide et de machines de fabrication de cristaux liquides. Les céramiques d'alumine de grande taille et de haute pureté présentent un intérêt majeur pour les industries du saphir et des semi-conducteurs. Elles constituent un support et un consommable essentiel pour le polissage chimico-mécanique (CMP) des plaquettes de saphir et de silicium. Ces mêmes céramiques peuvent également servir de substrat pour les écrans LCD.